亚博app官方下载安卓亚博体育app官网定位
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  •        摩尔定律一直在推动IC线宽和尺寸的变化。为了跟上技术发展的步伐,前端制造设备和测量设备中的亚博体育app官网定位机构和精密运动控制系统的精度必须达到10倍至1000倍的更高精度和更小特征尺寸。振动、定位误差和漂移必须控制在0.1nm范围内(原子半径量级)。传统的定位系统已经无法提供半导体产业所需的稳定性和精度。

           在半导体领域,使用基于亚博app官方下载安卓陶瓷的解决方案,包括用于减震的长寿命亚博app官方下载安卓元件,用于定位的超高性能大行程亚博体育app官网定位平台。其他的精密运动产品还包括用于快速光束稳定/角度校正的亚博app官方下载安卓偏摆平台,用于亚博体育app官网测量应用的亚博app官方下载安卓柔性亚博体育app官网台,用于掩模对准的亚博体育app官网对准系统,用于水平和垂直定位的新型混合大行程亚博体育app官网定位台。电容亚博体育app官网测量传感器可以测量亚亚博体育app官网尺度的运动并具有很高的带宽,也大量应用在半导体产业中。


    半导体技术领域